ウシオ電機株式会社 研究開発活動 (2019年3月期)

当社グループは、産業用光源の開発・製造を中核として光学系技術をはじめ、エレクトロニクスやメカトロニクスなど、光を利用・応用していく上で不可欠なさまざまな周辺技術の開発を推し進め、光のユニット化、光の装置・システム化へと事業を展開しております。新市場・新技術の動向を常に把握し、戦略的な研究開発活動を行うと共に、各研究開発部門が相互に連携・連動しながら数々の新しい光源及び光の関連装置やソリューションを生み出す体制となっております。当連結会計年度におけるグループ全体の研究開発費の総額は10,110百万円であり、光源事業及び装置事業を中心に行っております。なお、各セグメントの研究開発費はセグメント間の取引を含んでおります。
当連結会計年度の主な成果は、次のとおりであります。

(光源事業)
・赤色高出力レーザーダイオードで、世界最高のパルス光出力 3.5Wを実現
子会社であるウシオオプトセミコンダクター株式会社では、レーザープロジェクター用赤色レーザーダイオード(638nm)において、高温環境においても高光出力・高効率化を図るため、2017年に販売を開始したパルス光出力2.5Wの製品をベースに、チップからの光取り出し効率改善や放熱性向上等を進め、チップ性能を大幅に改善しました。これにより、世界最高のパルス光出力3.5W(寿命20,000時間達成)を実現した「HL63520HD」を開発し、2019年4月より販売開始しました。
本製品は、2019年2月5日(火)から2月7日(木)までThe Moscone Center(米国 サンフランシスコ)で開催された「Photonics West 2019」にて講演およびブース展示を行い、好評を得ました。
レーザープロジェクターは従来のランプタイプと比較し、長寿命かつランプ交換が不要など、TCO(Total Cost Ownership)削減に貢献でき、特にレーザータイプの中でも、光源に赤色レーザーダイオードを搭載した製品は優れた色再現性を高効率で実現できることから、現在普及が進んでいます。
光源事業に係る研究開発費は4,590百万円であります。

(装置事業)
・小型で高輝度なEUV光源の研究開発
当社は小型で高輝度なEUV光源の研究開発に取り組んでいます。高度な微細化が進む次世代半導体業界ではEUVリソグラフィ量産ライン向けマスク検査装置の実用化が渇望されており、その実現に必須となるSn LDP方式のEUV光源(従来のXe方式と比較して約50倍の輝度)の開発を進めています。また、量産ライン向けであることから高信頼性開発にも取り組んでいます。高輝度・高信頼性のEUV光源を開発することにより、最先端半導体プロセスの大幅な生産性向上の実現を通じて社会の発展に貢献します。
装置事業に係る研究開発費は5,478百万円であります。

(その他事業)
その他事業に係る研究開発費は41百万円であります。