株式会社　アルバック 研究開発活動 (2015年6月期)

当連結会計年度における研究開発活動は、当社を中心として以下のとおり実施いたしております。
当社グループは、真空技術を応用した次世代・最先端の分野における研究開発活動を経営の重要な柱に位置付けております。技術開発部、超材料研究所、半導体電子技術研究所、韓国超材料研究所の各開発拠点におきましては、競合他社に先駆けた当社の独創的な開発テーマを選び、積極的な研究開発活動を行っております。
当連結会計年度における研究開発費の総額は55億62百万円となり、セグメントごとに研究開発活動の成果を示すと次のとおりであります。

真空機器事業
当社の事業の柱である液晶ディスプレイをはじめ、有機ELディスプレイ、タッチパネル、フレキシブルディスプレイなどの次世代フラットパネルディスプレイ(FPD)分野のみならず、3次元NANDフラッシュメモリや次世代メモリとして期待されている不揮発性メモリ用製造装置などの半導体分野やLED、パワー半導体、高密度実装、MEMS(微小電気機械システム)や薄膜リチウム二次電池といった高機能電子デバイス用装置などの電子デバイス分野に開発投資を行い、一定の成果をあげております。また、真空ポンプや真空計測機器などの各種真空コンポーネント分野へも開発投資を行っております。
当セグメントに係る研究開発費は51億20百万円であり、代表的な成果は次のとおりであります。

(1)世界初、CMOSへ搭載可能な圧電MEMSデバイス向け量産用低温PZTスパッタリング技術を開発
この技術は、センサーなどのMEMSデバイスの高性能化、多機能化、小型化に貢献します。PZT薄膜を用いた圧電素子はスパッタリング装置「SME-200」によって一貫形成することが可能であり、長年の研究開発で培ってきた当社のPZT成膜技術はその品質と高い信頼性が評価されています。
一般的にPZT薄膜の結晶化温度はスパッタリング法で600℃程度、Sol-Gel法で700℃程度と高温プロセスが必要なため、500℃以下の低温プロセスが必要なCMOSへの搭載が困難でした。当社は、独自技術によりCMOSへ搭載可能な圧電MEMSデバイス用PZT薄膜を500℃以下のスパッタリングプロセスにより形成し、最高レベルの圧電性能と素子の信頼性に必要な高絶縁耐圧、耐疲労性能を満たす技術を世界で初めて実現することができました。

(2)リークディテクタ「HELIOT900シリーズ」新機種の販売を開始
リークディテクタは、ヘリウムガスを使用した漏れ検査において、漏れ量や漏れ箇所の特定を行うための検査装置です。
当社では2014年6月に販売を開始したリークディテクタ「HELIOT900シリーズ」に、500/600(50Hz/60Hz)L/minの粗引きポンプを搭載した新機種「HELIOT904D4」を追加し、内容積の大きな検査対象に対してこれまで以上に幅広く対応できるラインアップに拡充いたしました。

(3)セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ「UTM300B」の販売を開始
ターボ分子ポンプは、高真空から超高真空までを作るための真空ポンプで、研究開発から製造ライン向けに広く使われています。当社はこれまで、ピボット軸受型の小型タイプ、磁気軸受型の中・大型タイプをラインアップしてまいりましたが、ターボ分子ポンプの用途が多様化していく中で、取り付け方向が自由であること、より小型であること、補助ポンプも小型にできることなどのニーズに対応するため、この度、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ「UTM300B」を製品化しました。これは、セラミック玉軸受を採用した排気速度280L/secのターボ分子ポンプで、コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。取り付け方向に制限が無く、優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

真空応用事業
ナノテクノロジーやエネルギー、環境に関連する先端材料や、表面分析機器などの開発を行っております。
当セグメントに係る研究開発費は4億42百万円となり、代表的な成果は次のとおりであります。

(1)超伝導加速器用高純度ニオブ材料を開発し、販売を開始
純金属の中で超伝導になる温度が一番高いニオブ(Nb)は加速空洞材料として使用されていますが、金属Nbを高純度化するために、当社はグループ会社であるアルバック東北㈱に新設した600kW EB溶解炉を使用し、原料の選別、真空度、溶解スピードなどの条件を最適化することで、RRR(残留抵抗比:Residual Resistance Ratio)>250のインゴットの製造に成功しました。
超伝導加速器は、素粒子物理分野であるILC(国際リニアコライダー:International Linear Collider)による宇宙の起源の解明、医療分野であるたんぱく質の構造解析、環境・エネルギー分野である核変換を利用した高レベル放射性廃棄物の分離変換(ADS)などへの利用が期待されています。