株式会社フェローテックホールディングス 研究開発活動 (2015年3月期)

研究開発につきましては、技術革新と市場環境変化の激しい半導体、FPD、LED、太陽電池製造装置業界にあって、各ユーザーとの情報交換・技術交流を通して今後の技術発展動向とユーザーニーズを先取りすることを重視し、研究開発をすすめております。
現在の研究開発は、当社の技術担当部門が中心となり、日本・米国・欧州・アジアの各拠点で進めております。
当連結会計年度の研究開発費は1,476百万円であります。なお、研究開発費については、セグメント別に表示することは困難であるため総額で表示しております。
その主な成果は次のとおりであります。
(1)装置関連事業
①真空シール
大口径マグネットカップリングを開発したほか、新磁性流体の実用評価を行い、従来品と比較して1/3～1/5の低起動トルクの真空シールを開発いたしました。また、耐偏心性にすぐれたシールステージ形状を開発し、顧客から好評を得ております。
②セラミックス製品
ファインセラミックス事業については、露光装置部品関係にて大型部品接合技術を 確立いたしました。また、半導体製造装置部品用素材の開発や周辺パーツの開発を行 ないました。 マシナブルセラミックス事業では、半導体検査装置の高性能化に追随して高難度・高 精度のジグを供給すべく材料ならびに加工技術の改良を進めました。また、角穴加工 技術の量産化に目途をつけました。

(2)太陽電池関連事業
①太陽電池用結晶製造装置
これまで蓄積した結晶加工技術を応用し、結晶基板スライス装置、結晶基板研磨装置等の開発に着手しており、結晶加工関連製品の販売強化を目指します。特に、長年の技術開発で培ってきた単結晶引上炉についても、更なる技術革新を実施しております。
②太陽電池用ウエーハ
高変換効率・コストダウンの要請が強く、パートナーシップを考慮した受託製造事業化へシフトしています。
③真空蒸着装置
処理能力を大幅に向上させた真空蒸着装置を開発いたしました。また、装置に用いられるエレクトロン・ビームガンを日本、中国を含むアジア市場向けに投入しております。

(3)電子デバイス事業
①サーモモジュール
製品性能改善を目指し、熱電材料の開発に取り組みました。開発された熱電材料の特性を活かすため、新たなモジュール群の設計も開始致しました。また、アジア各国市場に向けて開発を継続してまいります。
②磁性流体
真空シールをはじめとする各種シール用、スピーカ・振動素子に幅広くご使用頂くために、磁性流体製品のラインナップを充実させ、高品質維持に努めております。また、磁性流体(磁性ナノ粒子)技術を利用した新たな分野への製品展開のため、国内外の複数の協力会社と連携し、バイオメディカル、熱輸送媒体材、新素材技術の開発ならびに応用デバイス分野への事業展開を積極的に進めております。
③パワー半導体用基板
日本及び欧州の顧客の要求仕様を満たす為に、パワーデバイス向けアルミナ基板の性能向上及び品質改善に取り組み、堅調に推移しております。引き続き、新たなパワーデバイス用セラミック基板の開発を積極的に実施しております。