株式会社ＲＳ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ 事業の内容 (2016年12月期)

当社グループは、当社及び艾爾斯半導體股份有限公司(連結子会社)の2社により構成されております。
当社グループは「地球環境を大切にし、世界の人々に信頼され、常に創造し挑戦する。」という経営理念に基づき事業活動を展開しております。
当社グループの主要な事業であるシリコンウェーハ再生事業は、ラサ工業株式会社が25年間世界の半導体製造会社にサービスを提供してきた事業を引き継いだものであり、半導体製造過程で発生するモニタウェーハ(※1)の再生を行う事業であります。シリコンウェーハの再生は、半導体製造工程の特徴及び製造コストの面から需要が発生するものであり、新興国の経済発展及び先進国の更なるデバイス用途(車・医療・環境・家・町・M2M・IoT)の広がり等を背景とした半導体需要の増加ととともに需要が拡大しております。当社グループは、国内外の半導体製造会社を取引先とし、大手ファウンドリを含めグローバルに販売活動を実施しており、艾爾斯半導體股份有限公司(連結子会社)と両社で行っております。また、シリコンウェーハ再生事業の他、ウェーハ事業としてシリコンウェーハ販売事業、酸化膜成膜加工サービス事業、半導体生産設備の買取・販売事業、その他の事業として太陽光発電事業、半導体の関連材料販売等を実施しております。

※1 モニタウェーハ : 半導体製造過程のモニタリングを実施するために使用するウェーハ

当社グループの事業とセグメント情報の区分との関連は下表の通りです。

セグメントの名称	事業の内容
ウェーハ事業	シリコンウェーハ再生事業及び販売事業 酸化膜成膜加工サービス事業
半導体生産設備の買取・販売	中古の半導体関連装置、消耗材の販売事業
その他	ソーラー事業、半導体の関連材料販売、技術コンサルティング等

それぞれの主要な事業の特徴は以下の通りであります。

(1)ウェーハ事業

① シリコンウェーハ再生事業

シリコンウェーハ再生事業は、半導体製造会社から使用済みのシリコンウェーハを預かって加工し、使用可能な状態にする事業です。加工は主に「ストリッピング・エッチング(ウェーハ表面膜の除去)」、「プレソート検査(中間検査)」、「ポリッシング(研磨)」、「1次洗浄」、「2次洗浄」、「最終検査」、という工程を経て実施されます。加工によりほぼ新品と同等の品質で再生できるため、いわばシリコンウェーハのクリーニング事業といえます。
当社グループのシリコンウェーハ再生事業のビジネスモデルを示すと下図のとおりであります。




シリコンウェーハの再生は、半導体製造過程の以下のような特徴から需要が発生します。
すなわち、半導体製造会社において、半導体は数百もの工程を経て製造されていますが、数百ある工程のある一箇所で不良が生じ、そのまま最終工程まで加工した場合、不良品が発生することにより、多大な損害が生じる可能性があります。これを防止するため、各工程で加工状態をモニタリングする必要があります。そこで半導体製造会社は、製品用シリコンウェーハ(プライムウェーハ(※2))と同時にモニタ用シリコンウェーハ(モニタウェーハ)を工程に投入し加工しています。プライムウェーハは最終工程でチップとしてカッティングされますが、モニタウェーハは各工程で抜き取りがされる為、円盤のまま形状が残ります。円盤形状を維持しているものの、加工済みのモニタウェーハには様々な情報が組み込まれているため、 そのままの状態では工程へ再投入することはできず、破棄されることになります。一方、1枚のモニタウェーハは10回から20回程度再生が可能であり、半導体製造会社にとっては、加工済みのモニタウェーハを再生加工することにより、新品のウェーハと同等品質のモニタウェーハを低コストで利用することができます。

※2 プライムウェーハ: カッティングされICチップとして製品化されるウェーハ

② シリコンウェーハ販売事業

シリコンウェーハ販売事業は、当社が仕入れたモニタウェーハ及びダミーウェーハ(※3)(8インチ(200mm)、12インチ(300mm)) を再生し、ニ-ズに合わせて販売する事業であります。

※3 ダミーウェーハ: 製造装置の立ち上げで装置の安定性を上げたり、確認するために投入され、通常は搬送チェックや加工形状の評価において使用される。ウェーハの電気特性や極度の精度(たとえば平坦度)が必要とされず、ウェーハのサイズや厚みが合っていれば良いのでダミー(替え玉、身代わり)と呼ばれる。

③ 酸化膜成膜加工サービス事業

絶縁膜として使用される酸化膜の生成を行うもので、主に製品用シリコンウェーハ(プライムウェーハ)の表面を加工するものであります。半導体製造における標準的な最初の工程を請け負うサービスであります。

(2) 半導体生産設備の買取・販売

半導体生産設備の買取・販売は主に中古の半導体関連機械装置(新品及び半導体以外も可)、消耗材を対象とするもので、解体・搬出・陸送・海運・搬入・組立を一括してプロデュースし、主に中国市場へ販売する事業であります。

(3) その他
ソーラー事業は、2012年から開始した再生エネルギー推進政策を基に、同年、本事業への参入を決定し、当社の経営理念の一つ“地球環境を大切に”を実践すべく2013年10月より約1MWの発電を開始し、2015年12月の増設により約1.59MWの発電事業を行っております。
半導体の関連材料販売は、半導体の研磨剤等の販売であります。対象物の仕入が不確定な為、事業計画には織り込んでおりません。
技術コンサルティングは、半導体ウェーハ製造工程の技術コンサルティング事業として技術指導、教育サービスを提供しています。

[事業系統図]