ウシオ電機株式会社 研究開発活動 (2020年3月期)

当社グループは、産業用の光源の開発・製造を中核として光学系技術をはじめ、エレクトロニクスやメカトロニクスなど、光を利用・応用していく上で不可欠なさまざまな周辺技術の開発を推し進め、光のユニット化、光の装置・システム化へと事業を展開しております。新市場・新技術の動向を常に把握し、戦略的な研究開発活動を行うと共に、各研究開発部門が相互に連携・連動しながら数々の新しい光源及び光の関連装置やソリューションを生み出す体制となっております。当連結会計年度におけるグループ全体の研究開発費の総額は10,174百万円であり、光源事業及び装置事業を中心に行っております。
当連結会計年度の主な成果は、次のとおりであります。

(光源事業)
・近赤外線領域(Short Wavelength Infrared, 以下SWIR)において世界最高出力のLEDを実現
子会社であるウシオオプトセミコンダクター株式会社(現:ウシオ電機株式会社)は、従来のLED素子設計を見直し、配光特性・放熱性に優れた新たな素子構造を採用することによりSWIR LEDの高効率/高出力化を進めました。併せて、大電流駆動化(1A/素子)することで、従来比約3倍となる160mW at 1300nmの世界最高出力を達成しました。
また、同材料/構造で達成可能な1050～1750nmのSWIR LEDを開発することで幅広い波長ラインナップを実現し、2020年4月より販売を開始しました。
SWIR LEDはInGaAsフォトディクタの低価格化とともに応用市場が拡大し始めております。シリコンなどの物質を透過する特性を持つことから半導体の検査用光源として利用され、特にソーラーパネル検査用途の需要が増加しております。他にも水や糖に吸収される特性を利用して、穀物や果物の水分量や糖度による選別、血糖値をモニタリングするバイタルセンサー等への応用が進められており、特に非侵襲の血糖値モニタリングの実用化は、現在世界規模で急増している糖尿病患者の負担軽減につながるため、社会的意義とともに市場の期待も大きくなっています。
SWIR LEDは高出力化によって更なる応用市場の拡がりが期待されており、需要の増大を見据えて生産設備の増強、ウェハの大口径化を図っております。

光源事業に係る研究開発費は4,387百万円であります。

(装置事業)
・小型、高輝度、高信頼性のEUV光源の研究開発
当社はEUVリソグラフィマスク検査用EUV光源の研究開発に継続的に取り組んでいます。IoTの伸展や5G対応等の必要性もあって、半導体業界では更に高度な微細化へのニーズが益々高まっております。高度な微細化が進む半導体業界では、EUVリソグラフィの量産プロセス採用が急速に進んでいます。これは量産プロセスへの採用の必要条件となっていたEUVリソグラフィマスク検査装置の実用化に目途が立ったことが大きなきっかけとなっており、当社のEUV光源の実用化が大きな貢献を果たしています。今後も、当社のEUV光源はニーズを先取りする形で、更なる高輝度化、高安定化に加え、安定稼働の実現を目指して継続的な研究開発を進めていきます。
装置事業に係る研究開発費は5,742百万円であります。

(その他事業)
その他事業に係る研究開発費は44百万円であります。