株式会社ＲＳ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ 事業の内容 (2021年12月期)

当社グループは、当社、連結子会社(株式会社ユニオンエレクトロニクスソリューション、株式会社DG Technologies、台湾の艾爾斯半導體股份有限公司、中国の北京有研RS半導体科技有限公司、有研半導体硅材料股份公司、山東有研半導体材料有限公司、他2社)、持分法適用関連会社(山東有研RS半導体材料有限公司)、非連結子会社(福建倉元投資有限公司)と合わせて11社により構成されております。(※1)
当社グループは「地球環境を大切にし、世界の人々に信頼され、常に創造し挑戦する。」という経営理念に基づき事業活動を展開しております。
当社グループの主要な事業であるシリコンウェーハ再生事業は、ラサ工業株式会社が25年間世界の半導体製造会社にサービスを提供してきた事業を引き継いだものであり、半導体製造過程で発生するモニタウェーハ(※2)の再生を行う事業であります。シリコンウェーハの再生は、半導体製造工程の特徴及び製造コストの面から需要が発生するものであり、新興国の経済発展及び先進国の更なるデバイス用途(車・医療・環境・家・町・データセンター・M2M(※3)・IoT)の広がり等を背景とした半導体需要の増加とともに需要が拡大しております。当社グループは、国内外の半導体製造会社を取引先とし、大手ファウンドリ(※4)を含めグローバルに販売活動を実施しており、艾爾斯半導體股份有限公司(連結子会社)と両社で行っております。また、シリコンウェーハ再生事業の他、主要な事業では2018年1月に設立した合弁会社の北京有研RS半導体科技有限公司を通じて、有研半導体材料有限公司(現:有研半導体硅材料股份公司)を連結化したことにより、新たにプライムシリコンウェーハ(※5)製造販売事業に参入しております。
ウェーハ事業のその他として、シリコンウェーハ販売事業、酸化膜成膜加工サービス事業を行って、半導体関連装置・部材等の販売事業、その他の事業として太陽光発電事業等を実施しております。

※1 当社は、2019年12月18日開催の取締役会において、有研科技集団有限公司、徳州滙達半導体股権投資基金パー
トナー企業及び当社が出資の上、山東省徳州市政府を加えた4者間で山東有研RS半導体材料有限公司を設立することを決議し、2020年7月30日に出資を行い、持分法適用関連会社といたしました。
※2 モニタウェーハ : 半導体製造過程のモニタリングを実施するために使用するウェーハ
※3 M2M : Machine to Machine(マシーン・ツー・マシーン)の省略形で、機器間の通信を意味
※4 ファウンドリ : 半導体産業において、実際に半導体デバイス(半導体チップ)を生産する工場のこと
※5 プライムシリコンウェーハ: カッティングされICチップとして製品化されるウェーハ


当社グループの事業とセグメント情報の区分との関連は下表の通りです。以下に示す区分は、セグメントと同一の区分であります。

セグメントの名称	事業の内容
ウェーハ再生事業	シリコンウェーハ再生事業及び販売事業 酸化膜成膜加工サービス事業
プライムシリコンウェーハ製造販売事業	プライムシリコンウェーハの製造及び販売事業 新品のモニターウェーハ、ダミーウェーハ及びシリコンインゴット等の製造販売
半導体関連装置・部材等	中古の半導体関連装置、消耗材の販売事業
その他	ソーラー事業、技術コンサルティング等

それぞれの主要な事業の特徴は以下の通りであります。

(1)ウェーハ再生事業

① シリコンウェーハ再生事業

シリコンウェーハ再生事業は、半導体製造会社から使用済みのシリコンウェーハを預かって加工し、使用可能な状態にする事業です。加工は主に「ストリッピング・エッチング(ウェーハ表面膜の除去)」、「プレソート検査(中間検査)」、「ポリッシング(研磨)」、「1次洗浄」、「2次洗浄」、「最終検査」、という工程を経て実施されます。加工によりほぼ新品と同等の品質で再生できるため、いわばシリコンウェーハのクリーニング事業といえます。
当社グループのシリコンウェーハ再生事業のビジネスモデルを示すと下図のとおりであります。




シリコンウェーハの再生は、半導体製造過程の以下のような特徴から需要が発生します。
すなわち、半導体製造会社において、半導体は数百もの工程を経て製造されていますが、数百ある工程のある一箇所で不良が生じ、そのまま最終工程まで加工した場合、不良品が発生することにより、多大な損害が生じる可能性があります。これを防止するため、各工程で加工状態をモニタリングする必要があります。そこで半導体製造会社は、製品用シリコンウェーハ(プライムシリコンウェーハ)と同時にモニタ用シリコンウェーハ(モニタウェーハ)を工程に投入し加工しています。プライムシリコンウェーハは最終工程でチップとしてカッティングされますが、モニタウェーハは各工程で抜き取りがされる為、円盤のまま形状が残ります。円盤形状を維持しているものの、加工済みのモニタウェーハには様々な情報が組み込まれているため、 そのままの状態では工程へ再投入することはできず、破棄されることになります。一方、1枚のモニタウェーハは10回から20回程度再生が可能であり、半導体製造会社にとっては、加工済みのモニタウェーハを再生加工することにより、新品のウェーハと同等品質のモニタウェーハを低コストで利用することができます。

② シリコンウェーハ販売事業

シリコンウェーハ販売事業は、当社が仕入れたモニタウェーハ及びダミーウェーハ(※6)(8インチ(200mm)、12インチ(300mm)) を再生し、ニ-ズに合わせて販売する事業であります。

※6 ダミーウェーハ: 製造装置の立ち上げで装置の安定性を上げたり、確認するために投入され、通常は搬送チェックや加工形状の評価において使用される。ウェーハの電気特性や極度の精度(たとえば平坦度)が必要とされず、ウェーハのサイズや厚みが合っていれば良いのでダミー(替え玉、身代わり)と呼ばれる。

③ 酸化膜成膜加工サービス事業

絶縁膜として使用される酸化膜の生成を行うもので、主に製品用シリコンウェーハ(プライムシリコンウェーハ)の表面を加工するものであります。半導体製造における標準的な最初の工程を請け負うサービスであります。

(2) プライムシリコンウェーハ製造販売事業

当社グループの1社である北京有研RS半導体科技有限公司の子会社の有研半導体硅材料股份公司及び山東有研半導体材料有限公司が製造及び販売を行う半導体用シリコンウェーハは、半導体メーカーが半導体を製造する上で基板材料として用いられるものであります。有研半導体硅材料股份公司及び山東有研半導体材料有限公司は中国国内の半導体メーカーのニーズに合わせて主に125mm、150mm、200mmのシリコンウェーハを製造販売しております。

(3) 半導体関連装置・部材等

半導体関連装置・部材等は主に中古の半導体関連機械装置(新品及び半導体以外も可)、消耗材を対象とするもので、解体・搬出・陸送・海運・搬入・組立を一括してプロデュースし、主に中国市場へ販売する事業であります。

(4) その他
ソーラー事業は、2012年から開始した再生エネルギー推進政策を基に、同年、本事業への参入を決定し、当社の経営理念の一つ“地球環境を大切に”を実践すべく2013年10月より約1MWの発電を開始し、2015年12月の増設により約1.59MWの発電事業を行っております。
技術コンサルティングは、半導体ウェーハ製造工程の技術コンサルティング事業として技術指導、教育サービスを提供しています。


[事業系統図]
下図は、2021年12月末現在の当社グループの事業系統図を示しております。