株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス 研究開発活動 (2021年3月期)

当社グループでは、株式会社SCREENホールディングスとグループ会社が密接に連携し、表面処理技術、直接描画技術、画像処理技術のコア技術を融合・展開させることで、基礎研究から商品開発に至るまで積極的な研究開発活動に取り組んでおります。
当連結会計年度は、半導体製造装置事業を中心とした既存事業の拡大・強化に向けた開発投資を行うとともに、エネルギー、検査計測、ライフサイエンスの各分野においても研究開発活動を積極的に推進し、215億6百万円の研究開発費を投入いたしました。
なお、当社グループの主な研究開発成果は次のとおりであります。
半導体製造装置事業では、薬液によるエッチング/洗浄機能とブラシを使用した物理洗浄機能を併せ持つウエハー裏面洗浄装置「SB-3300」、車載/パワーデバイス等に用いられる化合物ウエハーや3インチから8インチまでの幅広いサイズのウエハーの処理が可能となる「SP-2100」、最大16チャンバーの搭載を可能にする新プラットフォームの採用とデュアル搬送システムにより、業界最高レベルの処理能力を備える「SS-3300S」を開発いたしました。その他、先端デバイスに対応する洗浄、乾燥、塗布、熱処理、直接描画、装置制御などの技術のさらなる性能向上に取り組みました。またそれぞれの分野での最先端プロセスに関して、海外研究機関との共同研究を継続しています。
グラフィックアーツ機器事業では、Truepress Jet520HDシリーズで培った技術を継承し、解像度1,200×1,200dpiの高精細モノクロ印刷を実現する「Truepress Jet520HD mono」を開発いたしました。またシール・ラベル業界向けに「Truepress Jet L350UV SAIシリーズ」をリリースしました。
ディスプレー製造装置および成膜装置事業では、フォルダブル化やローラブル化の進むOLED業界に向けて、カラーフィルタ膜形成工程用の塗布現像装置「SK-F1500H」を開発いたしました。
プリント基板関連機器事業では、プリント基板向け直接描画装置の高生産性モデル「Ledia Twin」の開発を進めました。
上記セグメント以外では、基礎研究や新規事業領域の研究開発を継続するとともに、新たに組織を横断する研究開発に着手いたしました。ライフサイエンス分野では、錠剤やカプセルを包装するPTPシートへのUVインクジェット式アルミロール印刷機「BEVERSA」を開発いたしました。また、細胞形態解析イメージングシステムの新機種として、「Cell3iMager duos2」を開発いたしました。インクジェット印刷分野では、業界最高レベルの75m/分の印刷スピードと解像度1,200×1,200dpiを実現する、軟包装向け高速水性インクジェット印刷機「Truepress PAC 830F」の開発を進めました。ソフトウエア開発分野では、ARナビゲーションアプリ「PinnAR」の新機能を開発し、新宿駅での屋内ナビゲーション機能をリリースいたしました。

当連結会計年度におけるセグメントごとの研究開発費は次のとおりであります。

セグメントの名称	金額(百万円)
SPE	12,356
GA	2,689
FT	1,185
PE	493
上記セグメント以外	4,783
合計	21,506